Nitrogen Trifluoride (NF3) Yakanyanya Purity Gasi
Basic Information
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Chii ichi chinyorwa?
Nitrogen trifluoride (NF3) igasi risina ruvara uye risinganhuhwi patembiricha yepakamuri uye kumanikidzwa kwemhepo. Inogona kunyungudutswa pasi pekumanikidzwa kuri pakati nepakati. NF3 yakagadzikana pasi pemamiriro ezvinhu uye haiori nyore nyore. Nekudaro, inogona kuora kana yaiswa kune tembiricha yakanyanya kana pamberi pezvimwe zvinokonzeresa. NF3 ine mukana wepamusoro wekudziya kwepasi rose (GWP) kana yaburitswa mumhepo.
Ndekupi kushandisa zvinhu izvi?
Mushandi wekuchenesa muindasitiri yemagetsi: NF3 inoshandiswa zvakanyanya semugadziri wekuchenesa pakubvisa zvakasara zvakasvibiswa, senge oxides, kubva panzvimbo yesemiconductors, plasma kuratidza mapaneru (PDPs), uye zvimwe zvikamu zvemagetsi. Inogona kunyatso kuchenesa nzvimbo idzi pasina kukuvadza.
Etching gasi mune semiconductor kugadzirwa: NF3 inoshandiswa se etching gasi mukugadzira maitiro esemiconductors. Inonyanya kushanda mu etching silicon dioxide (SiO2) uye silicon nitride (Si3N4), zvinova zvinhu zvakajairika zvinoshandiswa mukugadzira maseketi akabatanidzwa.
Kugadzirwa kwepamusoro-kuchena fluorine makomisheni: NF3 yakakosha sosi yefluorine pakugadzirwa kweakasiyana-siyana ane fluorine makomisheni. Inoshandiswa seanotangira mukugadzirwa kwefluoropolymers, fluorocarbons, uye akakosha makemikari.
Chizvarwa chePlasma mune flat panel kuratidza kugadzira: NF3 inoshandiswa pamwe nemamwe magasi kugadzira plasma mukugadzirwa kwemaflat mapaneru anoratidza, senge liquid crystal displays (LCDs) uye PDPs. Iyo plasma yakakosha mukuisa uye etching maitiro panguva yekugadzira mapaneru.
Ziva kuti mashandisirwo chaiwo uye mirau yekushandiswa kwechinhu ichi / chigadzirwa chinogona kusiyana nenyika, indasitiri uye chinangwa. Gara uchitevera mirairo yekuchengetedza uye bvunza nyanzvi usati washandisa chinhu ichi / chigadzirwa mune chero application.
